产品概述
SC-6型匀胶机是一款面向6英寸及以下基片的高性能桌面旋涂设备，采用镜面不锈钢外壳与进口耐腐蚀材质内腔，配备7寸全彩触摸屏人机界面操作，工业级BLDC电机与单片机控制，转速范围100-12000rpm，时间分辨率达0.1s，旋涂精度和重复性优异。
设备具备防进胶、防堵胶功能设计，带真空开关和盖子开关安全互锁功能，可升级一路精确计量自动点胶功能。单步或多步运行可选，可编程10组10步程序，标配10mm、25mm、2英寸三种直径规格真空载物盘，满足多样化制样需求。
核心优势
· 7寸全彩触摸屏：人机界面操作，直观便捷
· 工业级BLDC电机：单片机控制，高精度、高重复性
· 防进胶防堵胶：功能设计，保护设备稳定运行
· 安全互锁：带真空开关和盖子开关安全互锁功能
· 自动点胶升级：可升级一路精确计量自动点胶功能
· 多步编程：可编程10组10步程序，单步或多步运行可选
· 多种载物盘：标配10mm、25mm、2英寸三种直径规格真空载物盘
· 耐腐蚀腔体：镜面不锈钢外壳，进口耐腐蚀材质内腔
技术参数
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旋涂参数 |
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可处理基片尺寸 |
≤150mm（6英寸） |
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转速范围 |
100-12000rpm |
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转速分辨率 |
1rpm |
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加速度可调范围 |
100-30000rpm/s |
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单步时长 |
≤3000s |
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时间分辨率 |
0.1s |
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均匀性数据 |
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4寸晶圆 |
片内：±0.51%，片间：±1.05%，膜厚：1350nm，胶液：AZ1500(20CP) |
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6寸晶圆 |
片内：±1.18%，片间：±1.86%，膜厚：4400nm，胶液：SPR220-4.5(123CP) |
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程序与载物盘 |
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程序存储 |
可编程10组10步程序 |
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标配载物盘 |
10mm、25mm、2英寸三种直径规格真空载物盘 |
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外形尺寸 |
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产品外形尺寸 |
292mm(W)×380mm(D)×246mm(H) |
应用领域
· 6英寸及以下基片的光刻胶旋涂制备
· 半导体研发实验室的高精度旋涂工艺
· MEMS、微纳加工领域的薄膜制备
· 高校、科研院所及企业研发实验室
